Saltar entre ROMs de la misma serie de desarrollo suele ser seguro sin hacer copias de seguridad ni borrar la partición de datos (aunque la caché y la caché Dalvik deberían borrarse siempre), a menos que las instrucciones de instalación le indican específicamente que borre la partición de datos (lo que parece poco probable en este caso; si fuera necesario un cambio tan drástico, ya no debería ser una versión candidata). No obstante, yo haría copias de seguridad de todo por si acaso, tanto de aplicaciones como Titanium Backup como de Nandroid desde la partición de recuperación, pero soy así de paranoico.
Al pasar a una serie diferente (por ejemplo, de CM6 a CM7, o de CM a aosp) siempre se debe hacer una copia de seguridad de todo y borrar todo.